凈化車間，也可以稱為凈化車間或清凈室。它是污染控制的基礎(chǔ)。沒有凈化車間，污染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。那么凈化車間是由哪幾部分組呢？
凈化車間共有五部分組成：
1、隔間
凈化車間隔間分為三大部分,更衣室,千級區(qū)和百級區(qū),更衣室與千級區(qū),千級區(qū)和百級區(qū)均設(shè)風淋室(airshower),凈化車間與室外設(shè)有物品出入通道傳遞箱(passbox).當人員進入凈化車間時,首先要經(jīng)過風淋室,對人體所帶的灰塵吹淋,減少人員帶入凈化車間的灰塵.傳遞箱則是對物品灰塵進行吹淋,達到落塵的效果。
2、風系統(tǒng)風系統(tǒng)流程圖
系統(tǒng)采用的是全新風空調(diào)箱+FFU系統(tǒng)：
全新風空調(diào)箱結(jié)構(gòu)
FFU:(FANFILTERUNIT)即風機和過濾器
千級區(qū)過濾器采用HEPA,過濾效率99.997%,百級區(qū)過濾器采用ULPA,過濾效率99.9995%。
3、水系統(tǒng)水系統(tǒng)流程圖
冰水系統(tǒng)分為一次側(cè)和二次側(cè).
一次側(cè)冰水水溫7-12度,供給空調(diào)箱和風機盤管,二次側(cè)冰水12-17度供給干盤管系統(tǒng).一次側(cè)冰水和二次冰水為兩個不同的回路,之間由板式換熱器連接.
板式換熱器原理
干盤管:不結(jié)露的盤管,因凈化車間溫度在22度,其露點溫度12度左右,故7度冰水不能直接進入凈化車間,所以進干盤管的冰水溫度在12-14度.
4、控制系統(tǒng)(DDC)溫度:干盤管系統(tǒng)控制
濕度:空調(diào)箱調(diào)節(jié)通過感測的信號,控制三通閥開度來調(diào)節(jié)空調(diào)箱盤管進水量。
正壓:空調(diào)箱調(diào)節(jié),根據(jù)靜壓感測的信號,自動調(diào)節(jié)空調(diào)箱馬達變頻器的頻率,從而調(diào)節(jié)進入室內(nèi)的新風量。
5、其他系統(tǒng)
不只是空調(diào)系統(tǒng),凈化車間系統(tǒng)中還包括有真空,空壓,氮氣,純水,廢水,二氧化碳系統(tǒng),制程排氣系統(tǒng),
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